Remo Cantilevers de Carboneto de Silício

Detalhes do produto e aplicação
A pá / viga cantilever SiSiC / SiC com grande força de carga de wafer é adequada para um sistema de carregamento e manuseio automático de robô porque tem desempenho estável, não deformação em alta temperatura e grande força de carga de wafer. Uma vez que a seção da pá do cantilever é estável, sem deformação, é possível fazer wafer de tamanho maior usando tubos de forno existentes. O carboneto de silício de SiSiC / SiC com grande força de carga de wafer pode ser aplicado ao LPVCD com base em seu coeficiente de expansão térmica semelhante com revestimento LPVCD, que prolonga muito o ciclo de manutenção e limpeza e reduz significativamente os poluentes.

Parâmetros técnicos de carboneto de silício ligado por reação RBSIC: 

Características:
uma. Não deforma em altas temperaturas e a força de carga do wafer é grande;
b. Excelente resistência ao choque térmico e longa vida útil;
c. O coeficiente de expansão térmica da pá cantilever é extremamente pequeno, o que prolonga muito o ciclo de manutenção e limpeza;
e reduzir drasticamente os poluentes

Outros móveis de forno feitos de cerâmica de carboneto de silício 
Além da pá de cantilever de SiSiC de carboneto de silício sinterizado Reaction para carregamento de wafer, também produzimos outros móveis de forno, incluindo vigas de carboneto de silício RBSIC / SISIC, tubos de bocal, tubo de bocal espiral, tubo de bocal espiral, placas de carboneto de silício SIC aglomeradas com óxido e tubos de resfriamento RBSIC .

Produtos de carboneto de silício RBSIC / SISIC resistentes ao desgaste
Como nosso produto de carboneto de silício RBSIC / SISIC tem as vantagens de excelente resistência ao desgaste, resistência à corrosão e longa vida útil, ele também pode ser feito em revestimentos resistentes ao desgaste que podem ser facilmente instalados em tubos de processamento ou ciclones.